流量范围

0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM

标定气体

内置7条气体可选择

精度(调零后)

±(1.5%Rd+0.5%FS)

重复性

±0.5%Rd

漂移(零点/满量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范围

1-

响应时间

100毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25ºC & 14.696 psia

工作温度范围

0~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-90%RH(非冷凝)

耐压

10Bar

进口工作压力

4Bar内

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质

SUS不锈钢、密封圈VITON

数字信号

RS485(ACSII、MODBUS-RTU)

模拟信号

标准0-5V 选配:4-20mA

电气接口

标准DB9

供电电压

+24VDC，200mA