3000系列比例阀,已经新的PID算法,从而在控制精度、响应速度大大
得到了提升,通讯方面DF200采用RJ45接口,使用普通网线既可串联99台
DF200C,大大节省了布线的工作,上市以来得到各个行业客户的认可
精度1%RD
响应速度1秒以内 全量程
可修改满量程
可修改气体种类
RJ45接口 更加快捷方便
DF200C系列质量流量控制器-数字式 |
|
量程(N2) |
3SCCM-10SLPM(FS) |
气体 |
非腐蚀气体;腐蚀气体单独说明 |
精度 |
±1.0%SP(>35%FS)、 ±0.35%FS(≤35%FS) |
重复性 |
±0.25%FS |
有效范围 |
2- |
响应时间 |
1秒以内 |
耐压 |
1.0Mpa |
进口大压力 |
0.5Mpa |
工作压差 |
0.05-0.3Mpa |
泄漏率 |
1*10-8pa·m³/s以下 |
温度范围 |
5~50℃ |
精度保证温度 |
15~35℃ |
保存温度 |
-10~60℃ |
湿度范围 |
10-90%RH(不能结露) |
材质 |
本体SUS316、SUS316L |
密封圈VITON,选配NBR或FKM |
|
电气接口 |
DB9 |
通讯接口 |
RJ45 |
模拟信号 |
0-5V输入/输出 |
供电 |
+24VDC(±10%)300mA;±15VDC(±10%)300mA |
管路连接 |
标配1/4F9 |
选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 |
|
重量 |
约850g |