腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。
LKF5系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
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性能/参数 |
LLF4系列质量流量计 |
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流量范围 |
0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
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标定气体 |
内置130条气体可选择 含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等) |
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精度(调零后) |
±(0.8%Rd+0.2%FS) |
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高精度(调零后) |
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
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重复性 |
±0.2%FS |
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漂移(零点/满量程) |
0.02% F.S/ºC/Atm |
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工作范围 |
0.5- |
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响应时间 |
10毫秒(调整) |
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启动预热时间 |
1秒内 |
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标准工况 |
25ºC & 14.696 psia，可自定义修改 |
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工作温度范围 |
-10~-50℃(另有高温订制品) |
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工作湿度范围 |
0-RH(非冷凝) |
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大工作压力 |
10Bar |
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大压差 |
5Bar |
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安装方向 |
任意 |
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阀门状态 |
常闭 |
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材质 |
SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez) |
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显示屏 |
背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度 |
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数字信号 |
标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
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模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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第二路模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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电气接口 |
标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
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供电电压 |
+24VDC |
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消耗电流 |
100mA大 |