适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
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5410质量流量计 |
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量程(N2) |
10SCCM-20SLPM(另外50SLM，来电咨询) |
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精度 |
±1.0%FS |
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重复性 |
±0.2%FS |
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响应时间 |
1秒以内 |
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耐压 |
1.0Mpa |
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进口大压力 |
O.5Mpa |
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泄漏率 |
1*10-11pa·m³/s以下 |
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温度范围 |
5-45℃ |
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湿度范围 |
10-90%RH(不能结露) |
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材质 |
本体SUS316L |
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密封圈SUS316L、PTFE |
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电气接口 |
DB9 |
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模拟信号 |
0-5V输出 |
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供电 |
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
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管路连接 |
标配1/4UJR |
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选配1/8UJR |
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重量 |
约800g |